基本信息 | |
【中文】 六氟化钨 |
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【英文名称】 Tungstenfluoride TUNGSTEN HEXAFLUORIDE TUNGSTEN(VI) FLUORIDE (oc-6-11)-tungstenfluoride(wf6 Hexafluorotungsten Tungsten fluoride (WF6) Tungsten fluoride (WF6), (OC-6-11)- WF6 TUNGSTEN(VI) FLUORIDE CYL. WITH 450 G TUNGSTEN(VI) FLUORIDE, 99.9+% TUNGSTEN (VI) FLUORIDE (99.9+%-W) Tungsten hexafluoride 99% Tungstenhexafluoride99% (oc-6-11)-tungsten fluoride Wolfram(VI)hexafluoride |
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【CAS】 7783-82-6 |
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【中文名称】 六氟化钨 氟化钨 六氟化鎢 |
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【EINECS 编号】 232-029-1 |
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【分子式】 F6W |
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【MDL 编号】 MFCD00040536 |
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【分子量】 297.83 |
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【MOL 文件】 7783-82-6.mol |
物理化学性质 | |
【外观性质】无色气体或浅黄色液体或固体,固体为易潮解的白色结晶, 接触潮湿空气冒烟。 | |
【溶解性】溶于多数有机溶剂。 | |
【熔点 】2.3 °C(lit.) | |
【沸点 】17.5 °C(lit.) | |
【水溶解性 】decomposes | |
【Merck 】13,9885 |
安全数据 | |
【危险品标志 】T,C | |
【危险类别码 】R23/24/25-R34 | |
【安全说明 】S26-S36/37/39-S45 | |
【危险品运输编号 】UN 2196 2.3 | |
【WGK Germany 】3 | |
【RTECS 】YO7720000 | |
【Hazard Note 】Toxic/Corrosive | |
【危险等级】2.3 |
化学品安全说明书(MSDS) | |
【MSDS 信息】六氟化钨(7783-82-6).msds |
7783-82-6(安全特性,毒性,储运) | |
【储运特性】库房通风低温干燥 | |
【可燃性危险特性】遇水分解有毒氟化氢气体和钨酸 | |
【类别】压缩气体和液化气体 | |
【灭火剂】水 | |
【职业标准】TLV-TWA 5 毫克(钨)/立方米; STEL 10 毫克(钨)/立方米 |
常见问题列表 | |
【理化性质】化学式WF6。分子量297.84。无色气体或淡黄色液体。有强刺激性。有毒,其毒性与氟相似。温度很低时呈白色固体。能溶于有机溶剂并产生特殊的颜色。遇水分解。在空气中被潮气分解而强烈冒烟,生成黄钨酸或三氧化钨。化学性质活泼。几乎能和所有的金属(除金和铂)反应。对镍、蒙乃尔合金和不锈钢也有腐蚀性,但Ni和不锈钢可抗其腐蚀性。干燥状态时,对玻璃的腐蚀性较弱,而在湿气中则能迅速反应。与气态氨反应强烈。能被氨水或碱所吸收。与碱金属氟化物可成复盐。溶于苯等多种有机溶剂。 【密度】 3.44×103kg/m3(15℃,液体) 【熔点】 2.5℃(5.6×104帕) 【沸点】 17.5℃ 【临界温度】 171℃ 【临界压力】 445.8kPa 【制备方法】 由金属钨粉与元素氟直接反应合成。 【主要用途】 (1)一种强氟化剂,用于气相沉积法制钨膜。(2)在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钨或钨,以制作低电阻、 高熔点的互连线。 图1为六氟化钨分子结构式。 | |
【主要用途】六氟化钨(WF6)是唯一能稳定存在的钨的氟化物,具有极强的腐蚀性,可根据外界环境的变化表现出灵活的物化性能,被广泛应用于工业生产的各个领域。六氟化钨在电子工业中主要作为集成电路的配线材料使用,其在经过化学气相沉积工艺后可形成金属钨导体膜,钨导体膜在集成电子学中通常被用作高传导性的互连金属、金属层间的通孔和垂直接触的接触孔以及铝和硅间的隔离层,因此被广泛应用于半导体集成领域;另外,六氟化钨还可以应用于太阳能吸收器以及 X 射线发射电极的制造、导电浆糊等电子元器原材料。 | |
【危险特性】遇潮湿、空气或水会分解,放出剧毒和有腐蚀性的氟化氢烟雾。对皮肤、眼睛、粘膜能引起极严重的灼伤。高浓度暴露会引起恶心、呕吐、腹痛、抽搐、肾损伤。本信息由Chemicalbook晓楠编辑(2015-09-05)。 | |
【贮运须知】装于特殊钢瓶内,贮于阴凉、通风的库房内。避免日光直射。远离热源和火源。防止受潮。与金属、玻璃制品隔离贮运。须贴“毒气”标志。航空、铁路禁止运输。周围其他可燃物着火时,可用干粉、二氧化碳灭火。可用水冷却钢瓶,迅速关闭阀门。 | |
【急救措施】眼睛受刺激可致盲,须不断用水冲洗,迅送医院诊治。 皮肤和粘膜受腐蚀后很难痊愈,须用水冲洗,再涂敷氧化镁甘油软膏或稀氨水,并就医诊治。 |