常用CAS信息

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22398-80-7

时间:2020-07-14   访问量:1163
基本信息
【中文】

磷化铟
【英文名称】

INDIUM(III) PHOSPHIDE
Indium monophosphide
Indium phosphide (InP)
indiummonophosphide
InP
Indium phosphide (99.999%-In) PURATREM
Indium phosphide wafer
Indiumphosphidemetalsbasispiecesanddownblack
Indiumphosphidepolycrystallinelump
Indiumphsophidewafer
INDIUM(III) PHOSPHIDE, PIECES, 3-20 MESH , 99.998%
Indium phosphide, polycrystalline lump, 99.99%
polycrystallinelump
INDIUM PHOSPHIDE WAFER - 51MM DIA. X 0.35MM
INDIUM PHOSPHIDE LUMP
Indium(III) phosphide, polycrystalline lump, 99.99% (metals basis)
Indium(III) phosphide, 99.999% (metals basis)
Indium(III) phosphide, 99.9999% (metals basis)
Phosphinetriylindium(III)
Phosphinidyneindium(III)
【CAS】

22398-80-7
【中文名称】

磷化铟
磷化铟晶体INP
磷化铟, 99.9999% (METALS BASIS)
磷化铟, 多晶块, 99.99% (METALS BASIS)
磷化铟, 99.999% (METALS BASIS)
【EINECS 编号】

244-959-5
【分子式】

InP
【MDL 编号】

MFCD00016153
【分子量】

145.79
【MOL 文件】

22398-80-7.mol
【所属类别】

无机化工产品: 无机盐: Cm磷化合物及磷酸盐
物理化学性质
【外观性状】具有沥青光泽的深灰色晶体。熔点1070℃。熔点下离解压为2.75 Mpa。极微溶于无机酸。介电常数:10.8。电子迁移率:约4600 cm2/V?s。空穴迁移率:约150 cm2/V?s。具有半导体的特性。
【熔点 】1070°C
【密度 】4,787 g/cm3
【form 】pieces
【Merck 】14,4953
理化性质
【形态】pieces
【水溶解性 】Insoluble in water.
【CAS 数据库】22398-80-7(CAS DataBase Reference)
应用领域
【用途一】用作半导体材料,用于光纤通讯技术,需要1.1~1.6μm范围内的光源和接受器。在 InP衬底上生长In-GaAsP双异质结激光器既能满足晶格匹配,又能满足波长范围的要求。
安全数据
【危险品标志 】T
【安全说明 】S24/25
【危险品运输编号 】3288
【WGK Germany 】3
【RTECS 】NL1800000
【RTECS号】NL1800000
【TSCA 】Yes
制备方法
【方法一】用高压单晶炉制备磷化铟单晶是最主要的方法,并用掺等电子杂质的方法降低晶体的位错密度。而气相外延,多采用In-PCl3-H2系统的歧化法,在该工艺中用铟(99.9999%)和三氯化磷(99.999%)之间的反应来生长磷化铟层。气相外延将石英反应管放在双温区电炉中,已净化的高纯氢气经计量通入,氢气也用来稀释三氯化磷,此时彭泡器保持在0℃,通过反应管内的氢气线速度为14 cm/min。外延生长分为诱个阶段进行。在第一阶段,将盛有铟的石英舟放在电炉中源区,通入氢气并加热到700~850℃,再用氢气将三氯化磷引入,在铟源上方被还原成磷蒸气和氯化氢。镉化氢与铟反应生成一氯化铟蒸气在管中迁移。磷溶解在铟中直至饱和为止。在第二阶段,铟源保持在原位置不加热,单晶衬底放在电炉的第二加温区后,在氢气氛下加热到600~750℃。首先用氢气将三氯化磷引入到管内对衬底进行气相腐蚀,清洗衬底表面。再将氢气直接引入反应管,并把源加热到它的过饱和温度(在操作中此温度比衬底晶体的温度高100℃)。然后通过氢气鼓泡将三氯化磷引入,这时磷蒸气与在源区生成的一氯化铟反应,在衬底上淀积生长出磷化铟层。当外延生长完成后,向系统中通入纯氢气,将两个温区冷却到室温,取出产物,制得磷化铟成品。
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