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| 基本信息 | |
| 【中文】 硅烷 |
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| 【英文名称】 SILANE SILICON TETRAHYDRIDE flots100sco Monosilane SiH4 Silicane Silicon hydride Silicon hydride (SiH4) tetrahydrure tetrahydruredesilicium Silaneinnitrogen SILANE, 99.998+%, ELECTRONIC GRADE Silicon tetyahydride SilaneGAS(Silicontetrahydride) SILANE: 15-17% IN NITROGEN 15-17% IN NITROGEN methylsilicane Silicon tetrahydride (Silane) Silane coupler RB-602 Silane coupler RB-902 |
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| 【CAS】 7803-62-5 |
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| 【中文名称】 甲硅烷 四氢化硅 硅烷 甲矽烷 RB-602硅烷偶联剂 RB-902硅烷偶联剂 |
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| 【分子式】 H4Si |
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| 【分子量】 32.12 |
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| 【MOL 文件】 7803-62-5.mol |
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| 物理化学性质 | |
| 【外观性质】无色气体，有恶臭。 | |
| 【溶解性】溶于苯、四氯化碳。 | |
| 【熔点 】-185 °C | |
| 【沸点 】-112 °C | |
| 【密度 】1.114 g/mL at 25 °C(lit.) | |
| 【蒸气密度】1.1 (vs air) | |
| 【用途 】用于集成电路制造、太阳能电池、涂膜反射玻璃等 | |
| 【用途 】用于制造集成电路、太阳能电池、涂膜反射玻璃等 | |
| 【Merck 】13,8562 | |
| 理化性质 | |
| 【形态】colorless gas | |
| 【水溶解性 】decomposed by H2O; insoluble alcohol, benzene [HAW93] | |
| 应用领域 | |
| 【用途1】用于制造集成电路、太阳能电池、涂膜反射玻璃等 | |
| 【用途2】用于集成电路制造、太阳能电池、涂膜反射玻璃等 | |
| 常见问题列表 | |
| 【应用】四氢化硅广泛应用于电子工业、能源工业、玻璃工业、化学工业及高科技领域等多个行业和领域，其主要用做生产液晶 TFT、太阳能电池、半导体、感光体材料等。近几年，由于我国集成电路产业发展迅速，超大规模或大规模集成电路在国有很大的发展空间，这将使四氢化硅的消费量日益增长。同时，由于太阳能市场的繁荣仍将持续，据预测，从2010年至2020年，全球四氢化硅市场将以年均20%的速率增长。四氢化硅是一种重要的特种气体，是一个国家气体产业是否先进的重要标志。我国作为经济迅速发展的大国，每年消耗的多晶硅将近4000吨左右，每年消耗的四氢化硅约为200～300吨，有较大的接触人群。 | |
| 安全数据 | |
| 【危险品标志 】F+,Xn | |
| 【危险类别码 】12-17-20 | |
| 【安全说明 】9-16-33-36/37/39 | |
| 【危险品运输编号 】UN 2203 2.1 | |
| 【WGK Germany 】1 | |
| 【RTECS号】VV1400000 | |
| 【TSCA 】Yes | |
| 【HazardClass 】2.1 | |
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