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| 基本信息 | |
| 【中文】 四氟甲烷 |
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| 【英文名称】 CARBON TETRAFLUORIDE FC-14 FREON 14 HALOCARBON 14 Refrigerant R 14 TETRAFLUOROMETHANE Arcton 0 arcton0 Carbon fluoride Carbon fluoride (CF4) carbon(IV)fluoride Carbonfluoride(CF4) carbonfluoride[cf4] Carbontetrafluoride(CF4) CF4 cfc14 CFC-14 F 14 f14 fluorocarbon14 |
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| 【CAS】 75-73-0 |
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| 【中文名称】 四氟化碳 四氟甲烷 四氟甲烷四氟化碳 |
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| 【EINECS 编号】 200-896-5 |
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| 【分子式】 CF4 |
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| 【MDL 编号】 MFCD00000371 |
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| 【分子量】 88 |
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| 【MOL 文件】 75-73-0.mol |
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| 物理化学性质 | |
| 【外观性质】无色无臭气体。 | |
| 【溶解性】不溶于水。 | |
| 【熔点 】−184 °C(lit.) | |
| 【沸点 】−130 °C(lit.) | |
| 【vapor density 】3.04 (vs air) | |
| 【Merck 】13,1827 | |
| 理化性质 | |
| 【外观性状】无色无臭无味气体。熔点-150℃（-184℃），沸点128℃，密度1.96g/cm3。微溶于水。对热非常稳定，化学性质比四氯化碳更不活泼。 | |
| 【密度 】(solid, -195°) 1.98; d (liq, -183°) 1.89 | |
| 【蒸气密度】3.04 (vs air) | |
| 【折射率 】1.1510 | |
| 【水溶解性 】mL/100mL in H2O: 0.595 (10°C), 0.490 (20°C), 0.366 (40°C) [LAN05] | |
| 【CAS 数据库】75-73-0(CAS DataBase Reference) | |
| 【NIST化学物质信息】Carbon tetrafluoride(75-73-0) | |
| 【EPA化学物质信息】Methane, tetrafluoro-(75-73-0) | |
| 应用领域 | |
| 【用途一】用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体及制冷剂 | |
| 【用途二】用于致冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。也用于制作低温液体压力计或作为惰性气体，或用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺和激光气体。 | |
| 安全数据 | |
| 【危险品标志 】F | |
| 【安全说明 】S38 | |
| 【危险品运输编号 】UN 1982 2.2 | |
| 【WGK Germany 】3 | |
| 【RTECS 】FG4920000 | |
| 【RTECS号】FG4920000 | |
| 【Hazard Note 】Non-flammable | |
| 【TSCA 】T | |
| 【HazardClass 】2.2 | |
| 【毒害物质数据】75-73-0(Hazardous Substances Data) | |
| 制备方法 | |
| 【方法一】由碳与氟反应，或一氧化碳与氟反应，或碳化硅与氟反应，或氟石与石油焦在电炉里反应，或二氟二氯甲烷与氟化氢反应，或四氯化碳与氟化银反应，或四氯化碳与氟化氢反应，都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行，反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体，再通过冷冻，用硅胶除去气体中的水分，最后经精馏而得成品。 | |
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