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| 基本信息 | |
| 【中文】 二氯硅烷 |
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| 【英文名称】 DICHLOROSILANE DICHLOROSILANE 99 dichloro-silan dichlorsilane siliconchloridehydride DICHLOROSILANE 227 G (IN LECTURE DICHLOROSILANE, 99.99+% DICHLOROSILANE 97+% Silane,dichloro- DICHLOROSILANE: 99.5% DICHLOROSILANE: 25% IN XYLENE dichlorosilane for high purity，electronic grade |
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| 【CAS】 4109-96-0 |
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| 【中文名称】 二氯硅烷 三氯矽烷 电子级高纯二氯二氨硅 |
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| 【EINECS 编号】 223-888-3 |
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| 【分子式】 Cl2H2Si |
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| 【MDL 编号】 MFCD00011600 |
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| 【分子量】 101.01 |
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| 【MOL 文件】 4109-96-0.mol |
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| 【所属类别】 无机化工产品: 无机盐: Cv电子工业用无机化工产品 |
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| 物理化学性质 | |
| 【外观性质】无色气体。 | |
| 【溶解性】溶于苯、乙醚等多数有机溶剂。 | |
| 【熔点 】−122 °C(lit.) | |
| 【沸点 】8.3 °C(lit.) | |
| 【密度 】1,22 g/cm3 | |
| 【蒸气密度】3.5 (vs air) | |
| 【蒸气压】1254 mm Hg ( 20 °C) | |
| 【闪点 】-37°C | |
| 【水溶解性 】decomposes | |
| 应用领域 | |
| 【用途一】用于电子工业中多晶硅外延生长以及化学气相淀积二氧化硅和氮化硅 | |
| 【用途二】用于半导体制造中，尤其是外延法工艺作为硅源。 | |
| 【参考质量标准】参考标准 ▼ ▲ 指标名称 指标 电子级 硼(B)/(mg/kg) ＜0.3 磷(P)/(mg/kg)＜ 0.3 四氯化硅(SiCl4)/%＜ 0.1 三氯氢硅(SiHC13)/%＜ 0.2 | |
| 安全数据 | |
| 【危险品标志 】F+,T | |
| 【危险类别码 】R12-R14-R23-R34 | |
| 【安全说明 】S26-S36/37/39-S45 | |
| 【危险品运输编号 】UN 2189 2.3 | |
| 【WGK Germany 】1 | |
| 【RTECS 】VV3050000 | |
| 【F 】4.5 | |
| 【TSCA 】Yes | |
| 【危险等级】2.3 | |
| 制备方法 | |
| 【方法一】将硅粉和氯化氢按适当比例进行反应，生成二氯二氢硅，经蒸馏分离三氯氢硅，把得到的二氯二氢硅进行精制，制得电子级高纯二氯二氢硅成品。其Si+2HCl→SiH2C12 | |
| 上下游产品信息 | |
| 【上游原料】硅-->三氯硅烷-->高纯-->电子-->二氯二氢硅 | |
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