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| 基本信息 | |
| 【中文】 三氯化硼 |
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| 【英文名称】 Boron chloride BORON TRICHLORIDE BCl3 Borane,trichloro- Boron chloride (BCl3) boronchloride(bcl3) Chlorure de bore chloruredebore chloruredebore(french) trichloro-boran Trichloroborane Trichloroboron trichloro-Boron Trona boron trichloride BORON TRICHLORIDE, 1.0M SOLUTION IN HEPT ANE BORON TRICHLORIDE, 1.0 M SOLUTION IN TO& BORON TRICHLORIDE, 1.0M SOLUTION IN P-XY LENE BORON TRICHLORIDE, 10 WT. % SOLUTION IN 2-CHLOROETHANOL BORON TRICHLORIDE, 1.0M SOLUTION IN DICH LOROMETHANE BORON TRICHLORIDE, 1.0M SOLUTION IN HEXA NES |
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| 【CAS】 10294-34-5 |
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| 【中文名称】 氯化硼 三氯化硼 电子工业用三氯化硼 |
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| 【EINECS 编号】 233-658-4 |
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| 【分子式】 BCl3 |
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| 【MDL 编号】 MFCD00011313 |
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| 【分子量】 117.17 |
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| 【MOL 文件】 10294-34-5.mol |
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| 【所属类别二】 无机化工产品: 无机盐: Cb硼化物 |
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| 【所属类别一】 无机化工产品: 无机盐: Cv电子工业用无机化工产 |
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| 物理化学性质 | |
| 【外观性质】无色发烟液体或气体，有强烈臭味，易潮解。 | |
| 【溶解性】溶于苯、二硫化碳。 | |
| 【熔点 】−107 °C(lit.) | |
| 【沸点 】12.5 °C(lit.) | |
| 【密度 】1.326 g/mL at 25 °C | |
| 【蒸气密度】4.05 (vs air) | |
| 【蒸气压】29.72 psi ( 55 °C) | |
| 【闪点 】84 °F | |
| 【储存条件 】2-8°C | |
| 【水溶解性 】decomposes | |
| 【Merck 】13,1338 | |
| 应用领域 | |
| 【用途一】用作半导体硅的掺杂源，有机合成催化剂;还可用于高纯硼和有机硼化合物的制取 | |
| 【用途二】可用以制造高纯硼、有机合成用催化剂、硅酸盐分解时的助熔剂、可对钢铁进行硼化。还可用来制造氮化硼及硼烷化合物。 | |
| 【用途三】主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。 | |
| 【参考质量标准二】参考标准 ▼ ▲ 指标名称 指标 三氯化硼(BCl3)/%≥ 99 游离氯/%≤ 0.005 参考标准 ▼ ▲ 指标名称 指标 电子级 三氯化硼(以BCl3计)/%≥ 99.95 氯(C12)(NTP)/% 0.01 光气(COCl2)/% 0.09 硅(Si)/% 0.01 比容积/(m 3/kg) 0.206 沸点/℃ 12.5 相对密度(21℃) 4.050 气体密度(NIP)/(kg/m 3) 4.85 临界压力/kPa(kgf/cm 2) 0.987(39.5) 临界温度/℃ 178.8 | |
| 【参考质量标准一】国家标准GB/T 17874—1999 ▼ ▲ 指标名称 指标 三氯化硼纯度/%≥ 99.999 氧化氩(以氧计)含量/10 -6≤ 2 氮含量/10 -6≤ 4 一氧化碳含量/10 -6≤ 0.2 二氧化碳含量/10 -6≤ 0.5 甲烷含量/10 -6≤ 0.5 | |
| 安全数据 | |
| 【危险品标志 】T+,T,N,F | |
| 【危险类别码 】R14-R26/28-R36/37/38-R40-R67-R65-R62-R51/53-R48/20-R34-R11-R50/53-R26/27/28-R63-R39/23/24/25-R24-R21-R10 | |
| 【安全说明 】S9-S26-S28-S36/37/39-S45-S8-S61-S38-S28A-S16-S1-S60-S33-S23-S7/9-S62 | |
| 【危险品运输编号 】UN 3390 6.1/PG 1 | |
| 【WGK Germany 】3 | |
| 【RTECS 】ED1925000 | |
| 【F 】10-21 | |
| 【Hazard Note 】Very toxic | |
| 【危险等级】2.3 | |
| 【海关编码】28121049 | |
| 制备方法 | |
| 【方法一】合成法将干燥的元素硼粉放入管式反应炉的反应管里，先用惰性气体排除空气，然后加热至300℃，通入少量氯气，在温度达到650℃时，大量通人氯气，温度控制在650～750℃。生成的三氯化硼由接收器用干冰冷却收集，再经精馏，制得三氯化硼成品。其2B+3C12→2BCl3 | |
| 【方法二】将精制三氯化硼为原料，通过吸附和蒸馏的方法进行提纯，制得高纯度三氯化硼。 | |
| 上下游产品信息 | |
| 【上游原料】二氧化碳-->硼 | |
| 【下游产品】硼-->氮化硼-->氟达拉滨-->二氯苯酚溴酯 | |
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